UV-351

小型輕量、本體+感應(yīng)器一體式UV能量計(jì)

可適用于UV曝光機(jī)與傳送帶的計(jì)測(cè)器。

特點(diǎn)：

1、可以管理UV曝光裝置和UV傳送帶的光量和照度。

2、小型，輕量，輕薄。反射形。

3、結(jié)合機(jī)型和用途提供UV-351、UV-351-25、UV-351-42等多種選擇

4、擁有光量檢測(cè)、照度檢測(cè)、照度峰值等多種測(cè)定模式。

5、高耐熱，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固。

型號(hào)：UV-351

測(cè)定波長(zhǎng)范圍：310~384nm

測(cè)定照度范圍：0.1~100.0mW/Cm2

測(cè)定光量范圍：1-19999mJ/cm2

合并精度：本社感應(yīng)器誤差在±1.5%以內(nèi)

重復(fù)操作精度：1.5%以內(nèi)

它是一種集受光部分和主體于一體的小型、輕便、手持式測(cè)量?jī)x器。 該測(cè)量?jī)x器與UV光刻設(shè)備和UV輸送機(jī)兼容。

可以管理光刻設(shè)備、UV輸送機(jī)等的照度和光強(qiáng)度。

它體積小、重量輕、薄且方便。

您可以根據(jù)應(yīng)用選擇 UV-351（相當(dāng)于 UV-SD35）、UV-351-25（相當(dāng)于 UV-SD25）和 UV-351-42（相當(dāng)于 UV-SD42）型號(hào)。

可選擇多種測(cè)量模式，如光強(qiáng)測(cè)量、照度測(cè)量、峰值照度測(cè)量等。

它具有金屬機(jī)身，耐熱，并具有堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)。

SN模式已被長(zhǎng)期使用我們的光刻設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用，并保證了工藝管理的連續(xù)性。

SD型推薦給在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過(guò)程中已經(jīng)使用其他公司生產(chǎn)的測(cè)光表的客戶，以及需要確保與這些測(cè)量?jī)x器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們的光刻設(shè)備中的液晶基板的投影光刻設(shè)備和外圍光刻設(shè)備），以及使用全新測(cè)光表的客戶。

為了保證舊過(guò)程數(shù)據(jù)的兼容性，使用SN型為SD型提供指示值（在相同測(cè)量條件下測(cè)量用作校準(zhǔn)輻射源的高壓UV燈的365nm發(fā)射線時(shí)顯示的照度值： mW/cm2）。

與可見光的照度計(jì)和照度計(jì)（以LUX單位測(cè)量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的照度計(jì)和照度計(jì)）不同，適用于所有照度計(jì)和紫外線照度計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進(jìn)行JIS轉(zhuǎn)換工作）。

即使各公司的相對(duì)光譜靈敏度是以365nm發(fā)射線為主要組成的光源測(cè)量照度而制作的，也從測(cè)量的峰值波長(zhǎng)（相對(duì)光譜靈敏度特性的波長(zhǎng)用1表示），短波長(zhǎng)側(cè)（約300nm~310nm）和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（約380nm~400nm）的上升開始。 下降的波長(zhǎng)和它前后的曲線略有不同。

此外，在設(shè)計(jì)方面已經(jīng)做出了努力，使感光器的感光角特性（據(jù)說(shuō)是COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實(shí)情況是它們尚未實(shí)現(xiàn)。